|
| |
| 事業名称 |
高集積・複合ＭＥＭＳ製造技術開発事業に係る助成金等 |
| 実施機関 |
独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 |
| 制度概要 |
従来個別に開発されてきた各種センサ又は通信用デバイスについて、ＭＥＭＳ製造技術を用いた一体成形、高集積化、ナノ機能付加することで、小型・省電力・高性能・高信頼性の高集積・複合ＭＥＭＳデバイスを製造する技術を開発する。 |
| 対象者 |
大学、研究機関、民間企業 |
| 対象技術開発 |
ＭＥＭＳ |
| 公募時期 |
平成１８年３月２８日〜５月９日 |
| 交付金額 |
１９年度予算額：１，１００百万円 |
| 実施期間 |
平成１８年度〜平成２０年度 |
| 採択数 |
委託：８件、助成：８件 |
| 平成１８年度 |
異種材料多層ＭＥＭＳ集積化技術の開発 |
| 採択テーマ例 |
ＭＥＭＳ‐半導体縦方向配線技術 |
| |
（三次元配線構造インターポーザル技術）の開発 |
| 問い合わせ先 |
独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構 |
| 機械システム技術開発部 |
| 電話：０４４−５２０−５２４１ |
| 公募案内等掲載の |
|
| ﾎｰﾑﾍﾟｰｼﾞｱﾄﾞﾚｽ |
|